真空排気システムメーカー7社Vacuum System Components
真空排気システムは、プロセスチャンバの圧力を目的の領域まで下げ、その状態を反応中も維持し続けるためのサブシステムです。エッチング・成膜・イオン注入はいずれも気体分子との衝突を避けたい工程であり、到達圧力と排気速度がプロセスウィンドウそのものを決めます。主ポンプに加え、圧力を測る真空計、流路を仕切るバルブ・フランジ、漏れを見つけるリークディテクタが一体で機能して初めて真空は成立します。装置メーカーが自社で作らず外部から調達する典型的な領域であり、部品1点の性能とパーティクル特性が装置全体の歩留まりに直結します。
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メーカー
7社の主要メーカー
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
- •ドライ真空ポンプで世界最大手
- •排気処理（アベートメント）システムに強み
- •半導体ファブの環境規制対応を支援
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
- •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
- •クリーンドライポンプによる汚染防止
- •半導体・研究・工業分野の幅広い顧客基盤
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
- •FPD・太陽電池向け大面積成膜技術
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
- •Newport光学・レーザー技術との融合製品群
真空バルブの世界最大手。半導体製造装置のロードロックとプロセスチャンバーを仕切るゲートバルブ／スリットバルブ、圧力制御バルブで圧倒的なシェアを持つスイス企業。
- •真空ゲートバルブで世界トップシェア
- •高速・高寿命なバルブ駆動機構
- •圧力制御バルブとの組合せ提案
分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。
- •分析・計測機器で国内トップクラス
- •質量分析・表面分析技術に強み
- •半導体材料評価から医療まで幅広い展開
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
- •自動車・環境分野にも展開する総合計測力
関連カテゴリ
装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社真空ポンプ真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。
メーカー 8 社ガス供給・流量制御ガス供給・流量制御系は、プロセスガスや特殊材料ガスを決められた流量・圧力でチャンバへ届けるサブシステムです。
メーカー 8 社排ガス処理装置（アバトメント）排ガス処理装置（アバトメントシステム）は、半導体製造プロセスで発生する有害副生成物・未反応ガスを大気放出前に無害化する環境・安全設備です。
メーカー 4 社