MARCH FlexTRAK®-SHS
高容量の F3-S チャンバーを備えた、ストリップ基板向けの全自動プラズマ処理装置。FlexTRAK シリーズの一機種。
MARCH FlexTRAK-SHSとは
MARCH FlexTRAK-SHS は、Nordson Electronics Solutions（MARCH）の FlexTRAK シリーズに属する自動プラズマ処理装置です。高容量の F3-S チャンバーを備え、全自動化によって処理の均一性と生産性を高めた機種です。
FlexTRAK シリーズは F3 プラズマチャンバー技術を使い、導電性電極上のレールに載せたダイレクト処理またはイオンフリー処理、あるいは絶縁電極上での直接処理を選べます。汚染除去、エッチング、表面活性化を、ダイアタッチ、ワイヤボンド、モールド・封止、アンダーフィルの前に行います。
対象はリードフレーム、キャリア、JEDEC・Auer ボート、ストリップ、ラミネートなどです。FlexTRAK-SHS には、薄い基板や反った基板に最適化したジャム検知を備える Productivity パッケージが用意されています。
主な特長
- •高容量の F3-S チャンバーと全自動搬送
- •ダイレクト処理とイオンフリー処理を選べる F3 チャンバー技術
- •薄い・反ったストリップ向けのジャム検知（Productivity パッケージ）
主な仕様
| 方式 | インライン自動プラズマ処理（F3-S チャンバー） |
|---|---|
| 対象 | リードフレーム・キャリア・ボート・ストリップ・ラミネート基板 |
| 主要用途 | ダイアタッチ・ワイヤボンド・モールド・アンダーフィル前の処理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
プラズマクリーナー：2機種の比較
| 項目 | NordsonMARCH FlexTRAK®-SHS | サムコ（SAMCO）PC-300（プラズマクリーナー） |
|---|---|---|
| 方式 | インライン自動プラズマ処理（F3-S チャンバー） | 平行平板型（RIE／PE 切替） |
| 主要用途 | ダイアタッチ・ワイヤボンド・モールド・アンダーフィル前の処理 | BGA・CSP・リードフレームの洗浄・表面改質 |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 対象 | リードフレーム・キャリア・ボート・ストリップ・ラミネート基板 | — |
|---|---|---|
| レシピ | — | 最大 100 レシピを保存 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ダイアタッチ・ワイヤボンディング前の表面清浄化
- •モールド・アンダーフィル前の表面活性化
掲載カテゴリ
MARCH FlexTRAK-SHSは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Nordson
精密ディスペンシング・封止・接合・検査装置の総合メーカー。半導体後工程のフラックス塗布、ポッティング、AOI検査システムを展開。
プラズマクリーナー（後工程）のほかの製品
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-19