ウェハソーターメーカー3社
ウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。ロット編成の変更、モニタウェハの抜き取り、不良ウェハの除外、異なる搬送規格のキャリア間での受け渡しなど、ラインを流す単位を組み替える場面で使われます。ウェハIDリーダーとアライナーを内蔵し、1枚ごとに識別しながら指定の位置へ収める構成が一般的です。地味な装置ですが、ここでの取り違えは工程履歴そのものを壊すため、動作の確実性が最優先される装置でもあります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
神戸製鋼グループの分析・評価受託会社。半導体材料や薄膜の材料分析、故障解析、シミュレーション受託を行うほか、スパッタリングターゲット材の開発・供給も手掛ける。
- •材料分析と故障解析の受託体制
- •スパッタリングターゲット材の供給
関連カテゴリ
AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。
メーカー 2 社装置管理システム（EES）装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。
メーカー 2 社生産管理システム（MES）生産管理システム（MES）は、ファブ内のロットがどの工程にあり、次にどの装置へ流れるべきかを管理する製造実行システムです。
メーカー 2 社装置インターフェース（SECS/GEM）装置インターフェース（SECS/GEM）は、製造装置とホストコンピュータが会話するための通信規格と、それを実装するソフトウェア・ハードウェアです。
メーカー 2 社ストッカーストッカーは、半導体製造ラインにおいてFOUP（ウェハキャリア）を一時的に自動保管・管理する無人自動倉庫システムです。
メーカー 2 社オリフラ・ノッチ合わせ機オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。
メーカー 2 社ウェハマーキング・ID読取装置ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。
メーカー 2 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社品質・歩留まり管理システム（YMS）品質・歩留まり管理システム（YMS）は、検査・計測・テストの結果を横断的に集約し、歩留まり低下の原因を統計的に突き止めるソフトウェアです。
メーカー 3 社