高真空用部品（バルブ・フランジ）メーカー5社
高真空用部品は、ゲートバルブ・フランジ・ベローズ・継手といった真空容器と配管を構成する部品群です。到達圧力はポンプ性能だけでなくシール部からの漏れと部材表面からの脱ガスで決まるため、部品の材質と表面処理が真空品質を左右します。ロードロックの開閉を担うゲートバルブは数十万回の動作寿命とパーティクル低発生が求められ、装置の可動部で最も過酷な部品の一つです。CFフランジによるメタルシールとKF/ISOのゴムシールを、必要な到達圧力に応じて使い分けます。
メーカー 5 社関連カテゴリ 3 件
主要特徴
ゲートバルブ・フランジ・ベローズなど真空容器を構成する部品群
到達圧力はシール漏れと部材からの脱ガスで決まる
ゲートバルブは動作寿命とパーティクル低発生が同時に要求される
CFメタルシールとKF/ISOゴムシールを到達圧力で使い分ける
メーカー
5社の主要メーカー
VAT Groupスイス
真空バルブの世界最大手。半導体製造装置のロードロックとプロセスチャンバーを仕切るゲートバルブ／スリットバルブ、圧力制御バルブで圧倒的なシェアを持つスイス企業。
真空バルブ
ゲートバルブスリットバルブ圧力制御バルブ
- •真空ゲートバルブで世界トップシェア
- •高速・高寿命なバルブ駆動機構
MKS Instruments米国
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
ガス制御機器
マスフローコントローラ圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
RFジェネレータマッチングネットワーク
計測・光学
Newport光学部品レーザー光源
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）英国
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
ドライ真空ポンプ
iXH/iXL seriesGXS series
排気処理装置
SIRIUSスクラバーFLARESシリーズ
ブースターポンプ
EH/EPX series
- •ドライ真空ポンプで世界最大手
- •排気処理（アベートメント）システムに強み
アルバックテクノ日本
アルバックグループのサービス会社。真空装置と真空ポンプ、計測器のメンテナンスに加え、真空部品の再生洗浄や金属表面処理を手掛ける。
サービス
真空装置・ポンプのメンテナンス部品再生洗浄
表面処理
溶射コーティング金属表面処理
部品
真空部品真空材料
- •真空装置・ポンプの保守で国内有数
- •部品の再生洗浄と表面処理を自社で
大亜真空日本
真空計測器と真空装置の製造・メンテナンスを手掛ける。真空計や真空部品の供給に加え、装置の改造・保守まで請け負う。
真空計測
真空計真空計コントローラ
真空機器
真空部品真空装置
サービス
真空装置のメンテナンス・改造
- •真空計測器の製造とメンテナンスを自社で
- •真空装置の設計・改造にも対応