SmartFactory MES
工場内の材料の流れを追跡する Applied Materials の MES。APC を統合し、ATP（後工程）向けの版もある。
SmartFactory MESとは
SmartFactory MES は、Applied Materials グループの Applied SmartFactory が提供する半導体向けの製造実行システム（MES）です。仕掛品（WIP）が工場内を流れる間の生産を管理・制御・追跡します。
仕掛品、装置の稼働、材料の移動、生産ルール、レシピ、データ収集、トレーサビリティ、品質イベントを協調させます。生産ルール・ルート・材料・品質要件を工場全体で標準化し、リアルタイムの生産データを業務フローとつなげます。ウェーハファブ、基板、組立、テスト、後工程、量産環境まで対応します。
MES のプラットフォームには、ウェーハファブ向けの 300works FullAuto、テスト・組立向けの MES for ATP、ファブの運用モデリングの PROMIS、大量生産向けの FACTORYworks、組立や周辺産業向けの FACTORYworks+、ビジネスルールを実装する FAB300 があります。アラーム管理、装置自動化、資産追跡、保守管理などの補完ソリューションもそろえています。
主な特長
- •WIP・装置・材料・レシピ・品質を一元管理
- •生産ルール・ルートの標準化とリアルタイム可視化
- •300works FullAuto・PROMIS・FACTORYworks・FAB300
- •装置自動化・保守管理などの補完ソリューション
主な仕様
| 提供形態 | パッケージ MES（プラグインで SPC・ディスパッチ等を追加） |
|---|---|
| 対象工場 | 半導体前工程・後工程（ATP）・LED・太陽電池 |
| 特徴 | APC 統合・関連機種 300works |
| 主要用途 | 仕掛品追跡・生産順序管理・作業指示 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Applied MaterialsSmartFactory MES | 横河電機CIMVision-semi |
|---|---|---|
| 提供形態 | パッケージ MES（プラグインで SPC・ディスパッチ等を追加） | MES パッケージ |
| 対象工場 | 半導体前工程・後工程（ATP）・LED・太陽電池 | 半導体製造工場 |
| 特徴 | APC 統合・関連機種 300works | 装置オンライン化（CELLBrain）と組み合わせ可能 |
| 主要用途 | 仕掛品追跡・生産順序管理・作業指示 | 製造管理・工程管理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •300mm ウェーハファブの全自動運用
- •テスト・組立・基板工場の生産管理
掲載カテゴリ
SmartFactory MESは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。