装置インターフェース（SECS/GEM）メーカー2社
装置インターフェース（SECS/GEM）は、製造装置とホストコンピュータが会話するための通信規格と、それを実装するソフトウェア・ハードウェアです。SEMIが定めたSECS-II／HSMSがメッセージの文法を、GEMが装置の振る舞いを標準化しており、これに準拠していればメーカーの異なる装置でも同じ手順でレシピ配信・状態監視・データ収集ができます。ファブの自動化はこの共通言語の上に成り立っており、装置導入時の接続作業（インテグレーション）の工数を大きく左右する部分です。
主要特徴
メーカー
2社の主要メーカー
関連カテゴリ
AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。
メーカー 2 社装置管理システム（EES）装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。
メーカー 2 社生産管理システム（MES）生産管理システム（MES）は、ファブ内のロットがどの工程にあり、次にどの装置へ流れるべきかを管理する製造実行システムです。
メーカー 2 社ストッカーストッカーは、半導体製造ラインにおいてFOUP（ウェハキャリア）を一時的に自動保管・管理する無人自動倉庫システムです。
メーカー 2 社オリフラ・ノッチ合わせ機オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。
メーカー 2 社ウェハマーキング・ID読取装置ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。
メーカー 2 社ウェハソーターウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。
メーカー 3 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社品質・歩留まり管理システム（YMS）品質・歩留まり管理システム（YMS）は、検査・計測・テストの結果を横断的に集約し、歩留まり低下の原因を統計的に突き止めるソフトウェアです。
メーカー 3 社