露点 ⇔ 水分濃度（ppm）換算ツール
最終更新：2026-09-26
要点
露点は、ガス中の水蒸気分圧が飽和水蒸気圧と等しくなる温度で、大気圧では露点−40℃が約127ppm、−70℃が約2.6ppm、−100℃が約14ppbに相当します。半導体工場のバルクガスはガス精製器で−100℃以下まで乾燥させて供給されます。露点は圧力に依存するため、仕様を比べるときは ppmv にそろえると安全です。
入力
水分濃度（体積）2.574ppmv
水蒸気分圧0.2608Pa
水分濃度（質量）1.656ppmw
相対湿度9.31×10⁻³%RH
0℃未満は氷面上の飽和水蒸気圧（霜点）で計算しています。露点計によっては0℃未満でも過冷却水の露点を表示するものがあり、−40℃付近で約4℃の差が出ます。
露点と水分濃度の早見表（大気圧）
| 露点 | 水蒸気分圧（Pa） | 体積濃度 | 窒素中の質量濃度 |
|---|---|---|---|
| -100℃ | 1.37×10⁻³ | 13.5 ppb | 8.67×10⁻³ ppmw |
| -90℃ | 9.53×10⁻³ | 94.0 ppb | 0.0605 ppmw |
| -80℃ | 0.0543 | 536.1 ppb | 0.345 ppmw |
| -70℃ | 0.261 | 2.57 ppm | 1.66 ppmw |
| -60℃ | 1.08 | 10.7 ppm | 6.86 ppmw |
| -50℃ | 3.94 | 38.9 ppm | 25 ppmw |
| -40℃ | 12.8 | 127 ppm | 81.6 ppmw |
| -20℃ | 103 | 1,020 ppm | 656 ppmw |
| 0℃ | 611 | 6,070 ppm | 3,900 ppmw |
| 10℃ | 1,230 | 12,200 ppm | 7,880 ppmw |
半導体工場で露点を管理する理由
半導体工場のバルクガス（窒素・アルゴン・酸素・水素）や特殊ガスは、水分を ppb レベルまで下げて供給されます。水分はエピタキシャル成長で酸素汚染や欠陥の原因になり、塩化水素や塩素のような腐食性ガスでは配管のステンレスを腐食させてパーティクルと金属汚染を生みます。このためガス精製器の出口では露点−100℃（約14ppb）以下を狙うのが一般的です。
露点は圧力に依存し、同じ水分量でも高圧の配管内で測った露点は大気圧換算より高く出ます。仕様書の露点が「大気圧換算」なのか「使用圧力下」なのかを確認し、比較するときは水分濃度（ppmv）にそろえると取り違えを防げます。