ユースポイント（Point of Use：POU）とは、ガス・薬液・超純水などが実際に使われる地点、つまり製造装置の直前や装置の中の供給口のことです。工場の中央にある製造・供給設備から長い配管を通って届く流体が、最終的にウェハに触れる直前の位置を指します。半導体では、供給された流体の品質を保証し、管理する基準点として重要な意味を持ちます。
ユースポイントが重視されるのは、中央の設備で作った流体の純度が、配管を通るあいだに劣化し得るからです。超純水は、製造装置の出口では極めて高い純度でも、配管の材料からの溶出や滞留による菌の繁殖、パーティクルの発生で水質が下がることがあります。そのため水質は製造装置の出口ではなくユースポイントで測定し、保証するのが基本です。ガスや薬液も同様で、ユースポイントの直前にフィルタ（POUフィルタ）や精製器（POU精製器）を置いて、配管の途中で混入した粒子や水分・金属不純物を取り除きます。
排気側にもユースポイントの考え方があります。毒性や可燃性のガスを使う装置では、工場の中央の排ガス処理設備に送る前に、装置のすぐそばに置いた除害装置（POUスクラバー）でガスを無害化します。長い配管を通す間の漏洩や、配管の中での固形物の析出を防げるためです。このように、ユースポイントで品質と安全を確保することは、微細化で求められる清浄度が高まるにつれて重要性を増しています。