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露點 ⇔ 水分濃度（ppm）換算工具
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重點
在大氣壓下，露點 −40℃ 約為 127 ppm、−70℃ 約 2.6 ppm、−100℃ 約 14 ppb。晶圓廠的大宗氣體以純化器乾燥到露點 −100℃ 以下再供應。露點與壓力有關，比較規格時統一換算成 ppmv 可避免誤判。
輸入
水分濃度（體積）2.574ppmv
水蒸氣分壓0.2608Pa
水分濃度（質量）1.656ppmw
相對濕度9.31×10⁻³%RH
0℃ 以下以冰面的飽和水蒸氣壓（霜點）計算。部分露點計在 0℃ 以下仍顯示過冷水的露點，在 −40℃ 附近約有 4℃ 的差異。
露點與水分濃度速查表（大氣壓）
| 露點 | 水蒸氣分壓（Pa） | 體積濃度 | 氮氣中的質量濃度 |
|---|---|---|---|
| -100℃ | 1.37×10⁻³ | 13.5 ppb | 8.67×10⁻³ ppmw |
| -90℃ | 9.53×10⁻³ | 94.0 ppb | 0.0605 ppmw |
| -80℃ | 0.0543 | 536.1 ppb | 0.345 ppmw |
| -70℃ | 0.261 | 2.57 ppm | 1.66 ppmw |
| -60℃ | 1.08 | 10.7 ppm | 6.86 ppmw |
| -50℃ | 3.94 | 38.9 ppm | 25 ppmw |
| -40℃ | 12.8 | 127 ppm | 81.6 ppmw |
| -20℃ | 103 | 1,020 ppm | 656 ppmw |
| 0℃ | 611 | 6,070 ppm | 3,900 ppmw |
| 10℃ | 1,230 | 12,200 ppm | 7,880 ppmw |
晶圓廠為什麼要管理露點
晶圓廠的大宗氣體（氮氣、氬氣、氧氣、氫氣）與特殊氣體，水分都要降到 ppb 等級才供應到機台。水分會在磊晶時造成氧汙染與缺陷；對氯化氫、氯氣這類腐蝕性氣體，水分會腐蝕不鏽鋼管路，產生微粒與金屬汙染。因此氣體純化器出口一般以露點 −100℃（約 14 ppb）以下為目標。
露點與壓力有關，同樣的水分量，在高壓管路中量到的露點會高於換算到大氣壓的值。規格書上的露點是「換算大氣壓」還是「使用壓力下」需要確認；比較不同規格時，統一換算成水分濃度（ppmv）可以避免誤判。
常見問題
露點 −70℃ 是多少 ppm？
大氣壓下約 2.6 ppmv（氮氣中約 1.7 ppmw）。
霜點和露點有什麼不同？
0℃ 以下水蒸氣凝結成冰而不是水，對應的溫度稱為霜點。本工具在 0℃ 以下以冰面飽和蒸氣壓計算。
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最後更新：2026年10月22日