最後更新:2026年10月8日設備零組件・耗材晶圓傳送・工廠自動化中國大陸:FOSB(晶圆出货盒)

FOSB(晶圓出貨盒)是什麼

FOSB (Front Opening Shipping Box)

FOSB 是晶圓廠商將 300mm 晶圓出貨、運送給元件廠商所用的密閉容器。與 FOUP 同為前開式、可收納 25 片並可放上裝載埠,但用途不是晶圓廠內搬運,而是工廠間運輸,頂面為把手形狀而非 OHT 用法蘭。空盒會退回晶圓廠商,經清洗、檢測後重複使用。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

FOSB(Front Opening Shipping Box)是晶圓廠商將 300mm 晶圓出貨、運送給元件廠商所用的密閉容器。具有與 FOUP 相同的前開式、可收納 25 片的外形,具備可直接放上裝載埠的相容性,但用途專門針對「工廠間的運輸」,而非晶圓廠內搬運。

與 FOUP 的差異在於用途:是用於晶圓廠內的自動化物料搬運系統(AMHS),還是用於外部運輸。FOUP 頂面有供 OHT 使用的機械手法蘭,是能承受重複使用的高耐久、高價規格。FOSB 則用於出貨,頂面為把手形狀,重視在運輸中保護晶圓免受振動與衝擊的固定結構,以及與運輸成本相稱的價格設計。

材質為經抗靜電處理的聚碳酸酯或 PBT 系樹脂,成型時要求抑制釋氣與發塵。為防止晶圓表面原生氧化層成長與霧化(haze)產生,也有具備 N₂ 吹淨功能的規格,或搭配真空包裝的出貨方式。不只是裸晶圓,磊晶晶圓、SOI 晶圓等高附加價值晶圓的運輸也以 FOSB 為標準。

在收貨端的晶圓廠,可直接將 FOSB 放上裝載埠把晶圓送入設備,或先移轉到 FOUP 再使用。移轉工程有微粒混入的風險,因此會使用專用的晶圓移轉設備。清空的 FOSB 一般會退回晶圓廠商,經清洗、檢測後重複使用。

主要廠商有 Miraial、信越聚合物(Shin-Etsu Polymer)、Entegris、家登精密(Gudeng Precision,台灣)等。需求隨晶圓出貨量變動,因此也是與矽晶圓市況連動性高的材料。

FOSB(晶圓出貨盒)的常見問題

FOSB 和 FOUP 有什麼不同?
用途不同。FOUP 用於晶圓廠內以 OHT 進行自動搬運,因此頂面有機械手法蘭,是能承受重複使用的高耐久規格。FOSB 用於晶圓廠商的出貨與運輸,頂面為把手形狀,重視運輸時的防振、防衝擊對策與成本。
以 FOSB 送達的晶圓可以直接使用嗎?
FOSB 與 FOUP 同樣符合 FIMS 標準,因此可以直接放上裝載埠使用,也可以先移轉到 FOUP 再使用。移轉有微粒混入的風險,因此會使用專用的晶圓移轉設備。

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