OHT（Overhead Hoist Transport）是在無塵室天花板鋪設的軌道上行駛、於設備間自動搬運 FOUP 的無人搬運車。它是 AMHS（自動化物料搬運系統）的執行單位，在 300mm 晶圓廠中，製程間的晶圓移動幾乎全部由 OHT 負責。
OHT 在天花板上行駛的理由很明確。地面已被設備與作業動線占用，若使用地面行駛的 AGV，路徑會受限並造成交通壅塞。利用天花板空間則不會干擾設備配置，並能確保最短路徑。此外，無塵室中氣流由天花板向地面單向流動（下吹氣流），在天花板附近產生的微粒會通過設備上方，不易到達晶圓，在潔淨度上也有優勢。
動作流程是：在軌道上行駛，停在裝載埠上方，以吊升機構將 FOUP 垂直吊下並放置。吊下時的晃動會對 FOUP 內的晶圓造成衝擊，因此需要防擺控制與加減速最佳化。1座晶圓廠中有數百～上千台規模的 OHT 運行，每1天產生數萬次搬運。
營運的核心是搬運排程。搬運需求由 MES 發出，AMHS 控制系統決定車輛分派與路徑。若搬運需求集中在特定區域就會發生壅塞，設備等待時間（閒置）增加，使整座晶圓廠的生產週期時間惡化，因此壅塞預測與路徑分散的演算法對生產力影響很大。在瓶頸設備前方會與倉儲系統（stocker）及側邊緩衝區連動，吸收在製品的滯留。
主要廠商為大福（Daifuku）與村田機械（Murata Machinery），這2家公司瓜分全球市場。新建晶圓廠會在設備搬入前先鋪設 OHT 軌道，因此也是與晶圓廠建設時程密切相關的設備。