最後更新:2026年10月8日晶圓廠・廠務設施晶圓廠廠務設施(廢氣處理・超純水・化學品供應)中國大陸:气闸室

氣閘室(前室)是什麼

Airlock

氣閘室(前室)是設於潔淨度或氣壓不同的2個空間之間的小房間,藉由不同時開啟兩側的門,防止空氣與污染物直接流入。半導體工廠將其設於無塵室入口,在此穿著無塵衣並經風淋室除塵。越潔淨的房間氣壓設計得越高,使空氣由潔淨側向外流出。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

氣閘室(Airlock)是設於潔淨度或氣壓不同的2個空間之間的小房間,藉由不讓兩側的門同時開啟,防止空氣或污染物從一側直接流入另一側。在半導體工廠,多半指設於無塵室與外部(一般區域)之間的前室,在人員或物品進出時,扮演保護無塵室潔淨空氣的角色。太空船或潛艇中連接氣壓不同空間的房間,同樣稱為氣閘室。

人員進出無塵室時,會在前室穿戴無塵衣、口罩、手套與專用鞋,再經風淋室(air shower)吹除衣物表面的灰塵後進入。前室的門一般採互鎖(interlock)設計,一側開啟時另一側無法開啟。物品搬入則使用傳遞小型物品的傳遞箱(pass box),或拆除資材包裝並進行清潔的搬入用前室。這些都是為了防止外部髒污空氣直接流入無塵室的機制。

要讓氣閘室發揮功能,房間之間的氣壓差(壓差)設計很重要。半導體無塵室中,潔淨度越高的房間氣壓越高,使潔淨空氣流向較髒的一側,以防止外部污染流入。前室維持在兩者之間的氣壓,即使開門時,也能維持空氣由潔淨側向外流出的方向。另一方面,處理有毒物質的醫藥或生技設施,則反過來將室內氣壓設得較低,避免物質外洩。製造設備中切換真空與大氣的真空預抽室(load lock),也是以相同概念保護真空側的機制。

氣閘室(前室)的常見問題

無塵室的前室要做什麼?
穿戴無塵衣、口罩、手套與專用鞋,經風淋室吹除衣物表面的灰塵後進入。前室的門採互鎖設計,一側開啟時另一側無法開啟,避免外部空氣直接流入無塵室。
無塵室的氣壓為什麼比外部高?
因為將潔淨房間的氣壓設得比周圍高,即使開關門或有縫隙,空氣也會從潔淨側向外流出,可防止外部髒污空氣進入。前室則維持在兩者之間的氣壓。

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