エアロック(前室)とは

Airlock

最終更新:2026-10-03・工場インフラ|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

エアロック(前室)とは?

エアロック(前室)とは、清浄度や気圧の異なる2つの空間の間に設ける小部屋で、両方の扉を同時に開けないことで空気や汚染物質の直接の流入を防ぐ仕組みです。半導体工場ではクリーンルームの入口に設け、無塵衣の着用やエアシャワーを行います。清浄な部屋ほど気圧を高くし、空気が清浄な側から流れ出るよう設計します。

定義・解説

エアロック(Airlock)とは、清浄度や気圧の異なる2つの空間の間に設ける小部屋で、両方の扉を同時に開けないようにすることで、空気や汚染物質が一方から他方へ直接流れ込むのを防ぐ仕組みです。半導体工場では、クリーンルームと外部(一般区域)の間に設ける前室を指すことが多く、人や物が出入りするときにクリーンルームの清浄な空気を守る役割を果たします。宇宙船や潜水艦の気圧の違う空間をつなぐ部屋も同じくエアロックと呼ばれます。

クリーンルームへの人の出入りでは、前室で無塵衣(クリーンスーツ)・マスク・手袋・専用の靴を着け、エアシャワーで衣服の表面のちりを吹き飛ばしてから入室します。前室の扉は、片方が開いているともう片方が開かないインターロックになっていることが一般的です。物の搬入には、小型の物を受け渡すパスボックスや、資材の梱包を外して清掃する搬入用の前室を使います。いずれも、外部の汚れた空気がクリーンルームへ直接流れ込まないようにするための仕組みです。

エアロックが機能するためには、部屋どうしの気圧の差(差圧)の設計が重要です。半導体のクリーンルームは、清浄度の高い部屋ほど気圧を高くし、清浄な空気が汚れた側へ流れ出るようにして、外からの汚染の流入を防ぎます。前室はその中間の気圧に保たれ、扉を開けたときにも空気が清浄な側から流れ出る向きを保ちます。一方、毒性のある物質を扱う医薬品やバイオの施設では、逆に中の気圧を低くして外へ漏らさない設計がとられます。製造装置で真空と大気を切り替えるロードロックも、同じ考え方で真空側を守る仕組みです。

よくある質問(FAQ)

クリーンルームの前室では何をしますか?▾
無塵衣(クリーンスーツ)・マスク・手袋・専用の靴を着け、エアシャワーで衣服の表面のちりを吹き飛ばしてから入室します。前室の扉は片方が開いているともう片方が開かないインターロックになっており、外の空気が直接クリーンルームに流れ込まないようにしています。
クリーンルームの気圧が外より高いのはなぜですか?▾
清浄な部屋の気圧を周囲より高くしておくと、扉の開閉や隙間があっても空気は清浄な側から外へ流れ出るため、外の汚れた空気が入り込むのを防げるからです。前室はその中間の気圧に保たれます。

設備の製造メーカー

日本エアーテック日本

1973年設立のクリーンエアーシステム専門メーカー。電子工業・半導体、医薬品、食品などの業界向けに、クリーンル…

新菱日本

化学技術を軸に、半導体・パネル製造装置部材の精密洗浄とシリコンウェーハの再生を手掛ける。産業廃棄物の無害化や再…

関連カテゴリ

関連用語

同じトピックの用語

ファブインフラ設備(排ガス・超純水・薬液供給) のトピックで関連する用語です。

同じトピックの企業

Entegris米国MKS Instruments米国Ultra Clean Holdings(UCT)米国Advanced Energy Industries米国エア・リキード(半導体)フランス荏原製作所日本

比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い
半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ…
→
← 用語集に戻る用語集をExcel・PDFで使う →