PCW（Process Cooling Water，製程冷卻水）是半導體工廠中為了冷卻製造設備發熱部位，而循環供應至整座工廠的冷卻水。從廠務端送往設備的供應端稱為 PCWS（Supply），在設備吸收熱後返回的回水端稱為 PCWR（Return），兩者連成封閉迴路運作。與超純水（UPW）、化學品、特殊氣體並列，是晶圓廠基幹廠務系統中的 1 項。
PCW 的主要供應對象是發熱量大的設備零組件。代表性的有電漿設備的 RF 電源與匹配器、真空幫浦、離子佈植機的電源與電磁鐵、熱處理爐的腔體外壁、曝光機等。設備端的精密溫控機（冰水機，chiller）多數也是水冷式，將從靜電吸盤等處帶走的熱排放到 PCW。分工上，±0.1℃級的精密溫度控制由冰水機負責，把這些熱運出工廠則由 PCW 負責。
PCW 系統由幫浦、熱交換器、過濾器、膨脹水箱等構成。從設備返回的溫熱 PCWR，在熱交換器中將熱傳給冰水主機的冰水或冷卻水塔的冷卻水而降溫，再作為 PCWS 送出。各設備能否獲得所需流量取決於供應端與回水端的壓力差（差壓），因此即使設備增設或稼動狀況改變，維持差壓恆定的控制仍很重要。
PCW 使用的不是自來水，而是以純水為基礎並管理水質的水。硬度成分會以積垢形式附著在細小的冷卻流道上而降低冷卻能力，溶氧與氯離子會腐蝕配管與設備內的金屬。細菌滋生則會形成黏泥而堵塞流道。在 RF 電源等水流經通電部附近的機器中，導電度過高也會造成漏電流，因此會監控導電度、pH、菌數等，必要時添加防蝕劑或以過濾器去除。
在晶圓廠的耗電量中，空調與冰水主機處理熱負荷所占的比例很大，PCW 供應溫度設定在何處直接關係到節能。若能提高供應溫度，可降低冰水主機負荷，並延長可利用外氣冷卻的期間；但相對地，設備端需要有冷卻能力的餘裕。此外，PCW 若在設備內洩漏，會導致設備故障或無塵室污染，因此漏水偵測與設備連接部的保養也是運作上重要的管理項目。