廠房是指容納機械與設備的建築物，是工廠或工業廠區領域使用的詞彙。意思與一般的「建築物」幾乎相同，但當以內部安裝的設備為主角、指稱包覆設備的容器式建築時，便稱為廠房。在半導體工廠（晶圓廠）中，除了設有無塵室的製造棟之外，還有氣體與化學品的供應棟、廢水處理棟、辦公棟等，分別稱為製造廠房・公用設施廠房等。
半導體的製造廠房具有與一般工廠大不相同的結構。典型為多層結構，中間樓層是加工晶圓的無塵室，其下方樓層（sub-fab，下夾層）放置真空幫浦・尾氣處理設備・電源・化學品供應等輔助設備，管線與配線從樓板向上拉至設備。無塵室的地板是讓空氣向下流動的開孔地板（格柵板），天花板上排列風扇過濾機組（FFU），並以其上方與地板下方的空間（靜壓箱，plenum）作為空氣通道。為了曝光機等精密設備，地板以抑制振動的厚混凝土格子樑樓板（waffle slab）建造，整棟廠房的剛性也設計得很高。
廠房的興建是工廠投產前各階段中的第一個大關卡。大規模的先進工廠從動工到廠房完工約需1～2年，之後接著進行製造設備搬入、與公用設施的連接（hook-up）以及製程的建立。在廠房階段就預留樓板強度・天花板高度・公用設施容量的餘裕，以因應未來設備的增設或更換為更大型的設備，將左右工廠的壽命與投資效率。