靜壓箱（Plenum）是指暫時蓄積空氣或氣體以均衡壓力，並均勻分配至多個出口的空間。英文意指「充滿的空間」，在空調・建築領域指天花板上方或地板下方的空氣通道。在半導體工廠中，用來形成無塵室氣流的天花板或地板下方空間，以及設備中用來均勻噴出製程氣體的空間，都稱為靜壓箱。
在無塵室中，藉由讓潔淨空氣從天花板向地板單向流動，將產生的微粒迅速向下推送排除。天花板上排列著由HEPA・ULPA過濾器與風扇組合而成的風扇過濾機組（FFU），在其上方的天花板空間（供氣靜壓箱）蓄積空氣，以相同壓力將空氣送往所有FFU。空氣穿過開孔地板，匯集到地板下方的空間（回風靜壓箱），經由牆內的通道（回風豎井）上升回到天花板，再次通過過濾器循環。靜壓箱內壓力均勻，是在整個無塵室形成風速均勻氣流的條件。
在設備內部，CVD或蝕刻設備噴淋頭的背面是靜壓箱的代表例。將從管線進入的氣體先蓄積在此空間以均衡壓力，再從表面開設的數百～數千個小孔均勻噴向整片晶圓。若靜壓箱的形狀或隔板設計不佳，氣體噴出會不均，使膜厚或蝕刻速率的面內分布變差，因此是左右設備性能的重要部分。