最後更新:2026年10月8日晶圓廠・廠務設施智慧晶圓廠・製造管理

SEDD(SEMI E172)是什麼

SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)

SEDD(SECS Equipment Data Dictionary,SEMI E172)是以 XML 格式描述製造設備在 SECS/GEM 通訊中使用的狀態變數・設備常數・事件・警報等定義的標準。過去需閱讀 PDF 通訊規格書手動輸入的設定作業,改為匯入檔案即可完成,有助於縮短設備與主機連線的導入期間並減少設定錯誤。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

SEDD(SECS Equipment Data Dictionary)是以機器可讀的 XML 格式檔案,描述半導體製造設備在 SECS/GEM 通訊中使用的資料清單與定義的標準。SEMI 標準編號為 E172,由設備廠商為每台設備製作 SEDD 檔案並提供給工廠端。

在 SECS/GEM 中,表示設備狀態的狀態變數(SVID)、作為設備設定值的設備常數(ECID)、隨事件傳送的資料變數(DVID)、通知狀態變化的收集事件(CEID)、警報(ALID),以及由主機傳送的遠端指令等,都是依設備分別訂定 ID 與型別使用。過去這些內容記載於設備廠商製作的 PDF 或試算表格式通訊規格書中,由工廠工程師閱讀後以手動方式設定到主機或 MES。

SEDD 將這些項目連同 ID・名稱・資料型別・單位・說明,以規定的格式描述。主機端軟體可以直接匯入檔案,因此能將連接設備時的設定作業自動化,也能減少手動輸入造成的設定錯誤。當設備軟體更新使變數增減時,也只要替換檔案就能反映變更內容。

在工廠中,從導入新設備到可用於量產,與主機的通訊導入需要花費不少時間。SEDD 的目的就是將各設備廠商格式不一的通訊規格書標準化,縮短這段導入期間。

此外,在用於從設備高速收集大量資料的 EDA(Interface A)標準群中,也規定了設備描述自身資料結構的機制(設備中繼資料)。SEDD 可定位為在既有的 SECS/GEM 通訊端實現同樣自我描述的標準。

SEDD(SEMI E172)的常見問題

SEDD 與 SECS/GEM 有什麼關係?
SECS/GEM 是規定設備與主機之間通訊步驟與訊息的標準群,SEDD 則是描述該通訊所用資料項目清單與定義的檔案格式標準。有了 SEDD,主機端軟體就能自動讀取每台設備具有哪些變數與事件。
導入 SEDD 有什麼好處?
可以縮短將設備連接到工廠主機或 MES 時的設定作業。過去需閱讀 PDF 等通訊規格書,手動輸入變數與事件的 ID;匯入 SEDD 檔案即可自動設定,也不會發生輸入錯誤。設備軟體更新使項目變動時,也更容易反映。

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