最後更新:2026年10月8日晶圓廠・廠務設施晶圓廠廠務設施(廢氣處理・超純水・化學品供應)

SEMI S2(設備安全準則)是什麼

SEMI S2

SEMI S2是產業團體SEMI制定的半導體製造設備環境、安全與衛生(EHS)準則,是實質上的全球標準。它規範了電氣、化學物質、火災、地震、雷射、人因工程等廣泛領域的設計基準。雖然不是法律,但許多半導體廠商在採購時要求符合,因此一般會由第三方評估機構進行評估。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

SEMI S2是國際半導體產業團體SEMI制定的半導體製造設備環境、安全與衛生(EHS)準則。正式名稱為「Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment」,廣泛規範了設備在設計階段應滿足的基準,使設備不會對作業人員、廠房設施及環境造成危害。在半導體製造設備的安全領域,它被視為實質上的全球標準。

SEMI S2涵蓋的範圍很廣,包括防止觸電的電氣設計、化學物質與氣體的洩漏及排氣、火災防止、地震防護、雷射與輻射、電磁波、可動部件造成的夾傷、接觸高溫部位、噪音、人因工程(作業便利性)、緊急停止機制,以及操作手冊與警告標示等。個別領域則會搭配相關準則使用,例如人因工程的SEMI S8、火災風險評估的SEMI S14、電氣設計的SEMI S22等。

SEMI S2雖然不是法律,但許多半導體廠商在設備採購規格書中要求符合SEMI S2,因此對設備廠商而言實質上是必備的基準。一般是由第三方評估機構評估設備並出具報告,來確認是否符合。它與各國法規(日本的勞動安全衛生法與高壓氣體保安法、歐洲的CE標誌等)一起,構成設備安全設計的基礎。

SEMI S2(設備安全準則)的常見問題

SEMI S2是法律嗎?
不是法律,而是產業團體SEMI制定的自願性準則。不過,許多半導體廠商在採購設備的規格書中要求符合SEMI S2,因此對設備廠商而言實質上已成為必備的基準。它必須在各國法規之外另行滿足。
如何確認是否符合SEMI S2?
一般是由第三方評估機構評估設備的設計與實機,並出具彙整各項目符合狀況的報告。設備廠商將這份報告提交給身為客戶的半導體廠商,以證明其安全性。

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