SEDD(SEMI E172)とは

SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)

最終更新:2026-10-03・装置インターフェース(SECS/GEM)・工場内搬送・自動化|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

SEDD(SEMI E172)とは?

SEDD(SECS Equipment Data Dictionary、SEMI E172)とは、製造装置がSECS/GEM通信で扱うステータス変数・装置定数・イベント・アラームなどの定義を、XML形式で記述する規格です。PDFの通信仕様書を読んで手入力していた設定作業をファイルの取り込みで済ませられるため、装置とホストをつなぐ立ち上げ期間の短縮と設定ミスの削減に役立ちます。

定義・解説

SEDD(SECS Equipment Data Dictionary)とは、半導体製造装置がSECS/GEM通信で扱うデータの一覧と定義を、機械が読み取れるXML形式のファイルで記述するための規格です。SEMIの規格番号はE172で、装置メーカーが装置ごとのSEDDファイルを作成し、工場側に提供します。

SECS/GEMでは、装置の状態を表すステータス変数(SVID)、装置の設定値である装置定数(ECID)、イベントに付随して送るデータ変数(DVID)、状態変化を知らせる収集イベント(CEID)、アラーム(ALID)、ホストから送るリモートコマンドなどを、装置ごとにIDと型を決めて使います。従来これらは、装置メーカーが作るPDFや表計算ファイルの通信仕様書に記載され、工場のエンジニアが読み取ってホストやMESに手作業で設定していました。

SEDDでは、これらの項目をID・名称・データ型・単位・説明とともに決められた形式で記述します。ホスト側のソフトウェアがファイルを直接取り込めるため、装置をつなぐときの設定作業を自動化でき、手入力による設定ミスも減らせます。装置のソフトウェア更新で変数が増減したときも、ファイルを差し替えるだけで変更点を反映できます。

工場では、新しい装置を導入してから量産に使えるようになるまでに、ホストとの通信の立ち上げに時間がかかります。SEDDは、装置メーカーごとに書式がばらばらだった通信仕様書を標準化し、この立ち上げ期間を短くすることを目的としています。

なお、装置から大量のデータを高速に収集するためのEDA(Interface A)規格群でも、装置が自身のデータ構造を記述する仕組み(装置メタデータ)が定められています。SEDDは、従来からあるSECS/GEM通信の側で同様の自己記述を実現するものと位置付けられます。

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よくある質問(FAQ)

SEDDとSECS/GEMの関係は何ですか?▾
SECS/GEMは装置とホストがやり取りする通信の手順とメッセージを定めた規格群で、SEDDはその通信で使うデータ項目の一覧と定義を記述するファイル形式の規格です。SEDDがあることで、どの装置がどんな変数やイベントを持っているかを、ホスト側のソフトウェアが自動で読み取れるようになります。
SEDDを導入すると何がよくなりますか?▾
装置を工場のホストやMESにつなぐときの設定作業を短縮できます。従来はPDFなどの通信仕様書を読んで変数やイベントのIDを手入力していましたが、SEDDのファイルを取り込めば自動で設定でき、入力ミスもなくなります。装置ソフトウェアの更新で項目が変わったときの反映も容易になります。

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