最後更新:2026年10月8日設備零組件・耗材智慧晶圓廠・製造管理中國大陸:三色灯(信号塔灯)

塔燈(多層式訊號燈)是什麼

Signal Tower

塔燈(多層式訊號燈)是安裝在製造設備上,以紅、黃、綠等燈號向周圍告知運轉狀態的指示燈。又稱燈塔、PATLITE,一般紅色代表異常停機,黃色代表警告或等待處理,綠色代表正常運轉。也可透過網路收集燈號狀態,用於設備稼動率的可視化。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

塔燈(多層式訊號燈)是安裝在製造設備上方等位置,以紅、黃、綠等顏色的燈號向周圍告知設備運轉狀態的指示燈。又稱燈塔(light tower)、PATLITE(源自廠商名稱的通稱)、多層指示燈;在半導體工廠中,用來讓人即使從遠處也能一眼看出設備是否在運轉、是否停止或是否發生異常。

顏色的意義由各工廠或設備自行決定,但一般分配為:紅色代表異常停機(警報),黃色代表警告或換線、等待作業人員處理,綠色代表正常運轉,藍色代表保養中或要求補料等。有時也會結合恆亮與閃爍的差異或蜂鳴器聲音,區分更多狀態。機械指示燈顏色的意義,在 IEC 60204-1 等標準中有參考準則。

半導體製造設備會以訊號燈告知裝載埠(load port)上 FOUP 處理完成、藥液或氣體存量不足、因安全連鎖(interlock)而停機等需要作業人員處理的狀態。在寬廣的無塵室中,作業人員要負責許多台設備,能透過訊號燈立即察覺異常,有助於縮短設備停機時間、提高稼動率。

近年來,透過網路收集訊號燈的燈號狀態,自動記錄設備運轉、停止、警報時間的用法日益普及。即使是沒有 SECS/GEM 通訊功能的舊設備或周邊機器,只要擷取訊號燈的訊號就能將運轉狀況可視化,因此常作為稼動率分析與預知保養的第一步而導入。

在日本國內,PATLITE 與春日電機等廠商生產塔燈,許多製造設備廠商將其列為標準零組件採用。

塔燈(多層式訊號燈)的常見問題

塔燈的顏色代表什麼意義?
由各工廠或設備自行決定,但一般分配為:紅色代表異常停機或警報,黃色代表警告或等待作業人員處理,綠色代表正常運轉,藍色代表保養中或要求補充材料等。有時也會結合恆亮與閃爍、蜂鳴器聲音,進一步細分狀態。
可以用塔燈管理稼動率嗎?
可以。只要透過網路收集訊號燈各顏色的燈號狀態,就能自動記錄每台設備的運轉、停止、警報時間。由於也容易加裝在沒有通訊功能的舊設備上,因此被當作將工廠運轉狀況可視化的簡便方法。

相關設備・材料

比較文章

所屬主題