塔燈(多層式訊號燈)是安裝在製造設備上方等位置,以紅、黃、綠等顏色的燈號向周圍告知設備運轉狀態的指示燈。又稱燈塔(light tower)、PATLITE(源自廠商名稱的通稱)、多層指示燈;在半導體工廠中,用來讓人即使從遠處也能一眼看出設備是否在運轉、是否停止或是否發生異常。
顏色的意義由各工廠或設備自行決定,但一般分配為:紅色代表異常停機(警報),黃色代表警告或換線、等待作業人員處理,綠色代表正常運轉,藍色代表保養中或要求補料等。有時也會結合恆亮與閃爍的差異或蜂鳴器聲音,區分更多狀態。機械指示燈顏色的意義,在 IEC 60204-1 等標準中有參考準則。
半導體製造設備會以訊號燈告知裝載埠(load port)上 FOUP 處理完成、藥液或氣體存量不足、因安全連鎖(interlock)而停機等需要作業人員處理的狀態。在寬廣的無塵室中,作業人員要負責許多台設備,能透過訊號燈立即察覺異常,有助於縮短設備停機時間、提高稼動率。
近年來,透過網路收集訊號燈的燈號狀態,自動記錄設備運轉、停止、警報時間的用法日益普及。即使是沒有 SECS/GEM 通訊功能的舊設備或周邊機器,只要擷取訊號燈的訊號就能將運轉狀況可視化,因此常作為稼動率分析與預知保養的第一步而導入。
在日本國內,PATLITE 與春日電機等廠商生產塔燈,許多製造設備廠商將其列為標準零組件採用。