シグナルタワー（積層信号灯）とは、製造装置の上部などに取り付けられ、赤・黄・緑などの色の灯で装置の稼働状態を周囲に知らせる表示灯です。ライトタワー、パトライト（メーカー名に由来する通称）、積層表示灯とも呼ばれ、半導体の工場では、離れた場所からでも装置が動いているか、止まっているか、異常が出ているかを一目で分かるようにするために使われます。
色の意味は工場や装置ごとに決められますが、一般的には赤が異常停止（アラーム）、黄が警告や段取り・作業者の対応待ち、緑が正常稼働、青が保守中や材料要求などに割り当てられます。点灯・点滅の違いやブザー音と組み合わせて、より多くの状態を区別することもあります。機械の表示灯の色の意味は、IEC 60204-1 などの規格で目安が示されています。
半導体の製造装置は、ロードポートのFOUPの処理完了や、薬液・ガスの残量不足、インターロックによる停止など、作業者の対応が必要な状態を信号灯で知らせます。広いクリーンルームでは、作業者が多くの装置を受け持つため、信号灯で異常にすぐ気づけることが装置の停止時間を短くし、稼働率を高めることにつながります。
近年は、信号灯の点灯状態をネットワークで集めて、装置の稼働・停止・アラームの時間を自動で記録する使い方が広がっています。SECS/GEM通信を持たない古い装置や周辺機器でも、信号灯の信号を取り出すだけで稼働状況を見える化できるため、稼働率の分析や予知保全への第一歩として導入されます。
国内では、パトライトや春日電機などがシグナルタワーを製造しており、多くの製造装置メーカーが標準部品として採用しています。
