寸動操作（JOG）是只在按住操作按鈕期間，以低速移動設備或機械手臂軸的手動操作。在半導體製造設備中，用於教導晶圓傳送機械手臂交接位置的教導作業、載台・升降機構的定位，以及保養後的動作確認等。
寸動操作時，按住按鈕期間會以固定低速持續移動，放開即停止。相對地，每按 1 次只移動規定距離的操作稱為步進（inching，步進送料）。教導時一般的做法是先以寸動移動到目標附近，最後再以步進一點一點微調到正確位置。
在傳送機械手臂的教導中，需在裝載埠（load port）的 FOUP、對準器（aligner）、真空預抽室（load lock）、製程腔體等每個晶圓交接位置，逐 1 點對準並記憶手臂的高度・前後・旋轉座標。寸動的移動方式有逐一移動各關節的方式，以及以直角座標（前後・左右・上下）移動的方式，可在機械手臂控制器或教導器（teaching pendant）上切換。
寸動操作多半由人員在設備附近進行，因此安全措施不可或缺。工業用機器人安全標準 ISO 10218 規定了將手動操作時速度限制在每秒 250mm 以下的減速模式，操作時會搭配只在握住致能開關（enable switch）期間才會動作的機制，以及以連鎖（interlock）緊急停止等措施使用。
教導精度直接影響晶圓交接不良、刮傷與微粒的產生。因此近年具備以感測器自動偵測晶圓或治具位置之自動教導功能的傳送機械手臂也愈來愈多，藉此減少以寸動操作進行的手動作業範圍，抑制作業時間與人員造成的差異。