TAT(Turn Around Time)是從委託・投入某項作業,到完成並取得結果為止的時間。在半導體領域,多指晶圓投入生產線到完成的生產週期(cycle time),也用於各種場合,例如從收到設計資料到交付試產品的試產 TAT、光罩製作 TAT、到取得不良分析結果的分析 TAT 等。
先進邏輯半導體的製造要經過數百道製程,從晶圓投入到完成一般約需 3~4 個月。製程數與光罩層數成正比增加,因此有時以每 1 層光罩的天數(DPML:Days Per Mask Layer)比較生產線的速度,一般以每 1 層 1~1.5 天左右為參考。實際生產週期中,晶圓在設備中處理的時間只占極小部分,大半是等待下一台設備空出的時間。因此管理生產週期除以純處理時間的值(X 因子,X-factor),減少等待時間是縮短 TAT 的核心。
TAT 直接影響事業競爭力。TAT 短,就能更早將新產品推向市場,也能快速因應客戶訂單變動,從發現良率問題到確認對策效果的學習循環也能加快。另一方面,產線內的在製品(WIP)過多會拉長等待時間,使 TAT 惡化。晶圓代工廠會設定比一般優先投片的 hot lot・super hot lot,也提供以額外費用縮短試產 TAT 的服務。