投片(tape-out)是指晶片設計通過所有驗證後,將最終佈局資料(GDSII 或 OASIS)交給晶圓代工廠、送進製造工程。這是設計專案最大的里程碑,此後的修正意味著重做光罩,伴隨高額費用與數個月的延誤。名稱的由來是過去將佈局資料寫入磁帶、寄送給光罩廠商。
投片前必須通過一系列稱為簽核(sign-off)的最終驗證。(1)以靜態時序分析(STA)滿足所有角落的時序;(2)以 DRC 與 LVS 確認沒有違反製造規則與電路一致性;(3)以 IR 壓降與電遷移分析確認電源網路健全;(4)以等價性驗證確認邏輯功能未改變等。晶圓代工廠收到資料後,也會依自家標準再次確認 DRC。
投片費用在越先進的節點越高。1 次投片需要製作數十片到接近百片的光罩,在 5nm 或 3nm 等級,據說光是光罩組就達數十億日圓規模。設計若有錯誤,就需要稱為「重新投片(respin)」的再次投片,不僅耗費成本,還會造成產品上市延遲。也有只修正金屬層的「金屬 ECO」,僅重做部分光罩以壓低費用的方法。
從投片到第一批晶片(first silicon)送到手上,依製程步驟數約需數週到 3 個月。收到的晶片以測試設備評估,確認功能與效能後進入量產。在試製階段,為壓低費用,以多個設計共用 1 套光罩的 MPW(多專案晶圓)投片也很普遍。