HMI eP5とは
HMI eP5 は、ASML でもっとも解像度の高い電子ビーム装置です。チップの開発と生産の監視のために、CD（寸法）計測と欠陥検出を高いスループットで行います。
ファブでも研究開発でも使え、生産での工程性能の監視や、開発での光近接効果補正（OPC）モデルの検証に使われます。
精密な CD 計測と高解像度の欠陥検出を 1 台で組み合わせています。ウェーハ検査では、物理欠陥モードと電位コントラストモードの両方で動作し、パターニングと電気的な欠陥を見つけます。画素サイズは 1nm です。
主な特長
- •画素サイズ 1nm
- •CD 計測と欠陥検出を統合
- •OPC モデルの検証
主な仕様
| 方式 | 電子ビーム CD 計測＋欠陥検出 |
|---|---|
| 画素サイズ | 1 nm |
| 検査モード | 物理欠陥・電位コントラスト |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLAeSL10™ | Hermes Microvision（HMI）HMI eScan® 1100 | Applied MaterialsPrimeVision® 10 eBeam Inspection | ASMLHMI eScan 1100 | ASMLHMI eScan 600 | ASMLHMI eP5 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | — | 電子ビーム検査（冷陰極電界放出・反射電子検出） | マルチ電子ビーム検査（25 ビーム） | 電子ビーム検査（複数モード） | 電子ビーム CD 計測＋欠陥検出 |
| 主要用途 | 先端ロジック・DRAM・3D NAND（EUV 工程含む） | 3nm ノード以降の欠陥検査 | プロセス開発・量産の工程管理 | — | — | — |
| ビーム構成 | シングルビーム（Simul-6 収集モード・Yellowstone スキャン） | マルチビーム（25 本） | — | — | — | — |
| 特徴 | SMARTs 深層学習で欠陥とノイズを判別 | シングルビーム機比で最大 15 倍のスループット | — | — | — | — |
| 検査モード | — | — | — | — | 物理欠陥・電位コントラスト・材料コントラスト（BSE） | 物理欠陥・電位コントラスト |
1機種だけが掲載している項目（5件）
| 検出対象 | — | — | 膜中の埋もれ欠陥・深いトレンチ・パターンずれ・電気的欠陥 | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|
| スループット | — | — | — | シングルビーム比で最大 15 倍 | — | — |
| 対象ノード | — | — | — | 3nm 以降 | — | — |
| 感度 | — | — | — | — | 数 nm の物理欠陥を検出 | — |
| 画素サイズ | — | — | — | — | — | 1 nm |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •工程性能の監視
- •OPC モデルの検証
掲載カテゴリ
HMI eP5は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
電子線（EB）検査装置のほかの製品
ASMLのほかの製品
TWINSCAN NXE:3600D（EUV露光装置）TWINSCAN NXT:2100i（DUV露光装置）TWINSCAN EXE:5000（EUV露光装置）TWINSCAN EXE:5200B（EUV露光装置）TWINSCAN NXE:3800E（EUV露光装置）TWINSCAN NXE:3400C（EUV露光装置）TWINSCAN NXT:2150i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:2050i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:2000i（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:1980Fi（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:1470（DUV露光装置）TWINSCAN XT:1460K（DUV露光装置）TWINSCAN XT:1060K（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:870B（DUV露光装置）TWINSCAN NXT:870（DUV露光装置）TWINSCAN XT:860N（DUV露光装置）TWINSCAN XT:860M（DUV露光装置）TWINSCAN XT:400M（i線ステッパー）TWINSCAN XT:260（i線ステッパー）YieldStar 1390（オーバーレイ計測装置）YieldStar 1385（オーバーレイ計測装置）YieldStar 500（オーバーレイ計測装置）HMI eScan 1100（電子線（EB）検査装置）HMI eScan 600（電子線（EB）検査装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07