FIREBIRD TCB 是 ASMPT 的熱壓接合(TCB)系統,針對異質晶片整合(異質整合)設計,支援 2D、2.5D、3D 的封裝形態。
貼裝精度為 ±2.0µm,角度精度大晶粒 ±0.01°、小晶粒 ±0.05°,共面度在 33mm 下為 3µm,週期時間不到 2 秒。以脈衝加熱吸嘴最高加熱至 400°C,可在惰性氣氛下進行 LPC(液相接觸)。接合荷重有 0.1~30N 與 30~300N 2 個範圍。
晶粒可處理晶圓與捲帶(tape & reel)兩種形態,支援條狀・單顆・晶圓基板,採可在現場變更構成的設計。以 CPU、GPU、具 TSV 的堆疊記憶體為對象,負責 HPC・AI 用半導體的封裝。量產中已有 250 台以上運轉。