最後更新:2026年10月23日小晶片(Chiplet)封裝設備

FIREBIRD TCB的特點與規格

ASMPT・小晶片(Chiplet)封裝設備

針對 2D・2.5D・3D 異質整合設計的熱壓接合(TCB)鍵合機,以 HPC・AI 用途的晶片貼裝為對象。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

FIREBIRD TCB 是 ASMPT 的熱壓接合(TCB)系統,針對異質晶片整合(異質整合)設計,支援 2D、2.5D、3D 的封裝形態。

貼裝精度為 ±2.0µm,角度精度大晶粒 ±0.01°、小晶粒 ±0.05°,共面度在 33mm 下為 3µm,週期時間不到 2 秒。以脈衝加熱吸嘴最高加熱至 400°C,可在惰性氣氛下進行 LPC(液相接觸)。接合荷重有 0.1~30N 與 30~300N 2 個範圍。

晶粒可處理晶圓與捲帶(tape & reel)兩種形態,支援條狀・單顆・晶圓基板,採可在現場變更構成的設計。以 CPU、GPU、具 TSV 的堆疊記憶體為對象,負責 HPC・AI 用半導體的封裝。量產中已有 250 台以上運轉。

主要規格

接合方式熱壓接合(TCB)
貼裝精度±2.0 µm
處理能力處理循環不到 2 秒
主要用途CPU・GPU・具 TSV 記憶體的封裝

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

貼裝精度 ±2.0µm,週期時間不到 2 秒
脈衝加熱吸嘴(最高 400°C)、惰性氣氛
接合荷重 0.1~30N/30~300N 2 個範圍
量產中 250 台以上的運轉實績

主要用途

  • CPU・GPU 的小晶片封裝
  • 具 TSV 的堆疊記憶體(HBM)

製造商

ASMPT(總部:新加坡)

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資料來源

  1. ASMPT 官方產品頁面:ASMPT