TC 接合機(熱壓接合機)是什麼

TC接合機(熱壓接合機)是將晶片逐1顆吸附,對準載板、晶圓或下層晶片,以接合頭同時施加加熱與加壓來接合微凸塊的設備。與將整片載板送入爐內的整批回焊不同,只對接合部位局部加熱,因此能抑制薄晶片的翹曲與凸塊間的偏移。用於HBM的DRAM堆疊或2.5D封裝等,需要將窄間距凸塊多層準確連接的工序。

重點整理

同時施加加熱與加壓,將晶片逐1顆接合
相較整批回焊為局部加熱,可抑制薄晶片的翹曲・偏移
用於HBM的DRAM堆疊與2.5D封裝的窄間距凸塊接合
接合中晶片的平行度・位置精度・溫度曲線控制決定良率
在混合鍵合普及之前,是堆疊接合的主力方式

常見問題

TC接合機與覆晶接合機有什麼不同?
TC接合機是覆晶接合的一種,以接合頭同時施加加熱與加壓,當場完成接合。一般的覆晶安裝則是先暫放晶片,再將整片載板送入回焊爐一次加熱熔化焊料。凸塊間距越窄、晶片越薄,就越傾向選用局部加熱的TC接合機。
為什麼HBM製造使用TC接合機?
HBM將薄化的DRAM晶片堆疊成8層・12層・16層,晶片之間以TSV與微凸塊連接。整批回焊時,層數越多,翹曲與偏移越容易累積,因此逐層加熱・加壓接合的TC接合機成為堆疊工序的主力。
TC接合機與混合鍵合如何區分使用?
TC接合機是使用焊料微凸塊的接合,具有量產實績。混合鍵合不使用凸塊,直接接合銅電極與絕緣膜,因此可實現更窄的間距與更薄的堆疊,但對表面平坦度與潔淨度的要求更嚴格。在HBM中,隨著世代演進,兩者的區分使用正在評估中。

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