最後更新:2026年10月23日小晶片(Chiplet)封裝設備

Datacon 8800 CHAMEO ultra plus AC的特點與規格

Besi・小晶片(Chiplet)封裝設備

Besi 的晶粒對晶圓混合鍵合機,在室溫下將介電層直接熔融接合,再以批次退火完成電性連接。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Datacon 8800 CHAMEO ultra plus AC 是 Besi 用於晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合的晶粒貼裝設備,用於高密度互連、3D 整合、先進封裝與高階模組。

透過使用高解析度相機的 Van Gogh 對準原理等光學解決方案,實現最高的貼裝精度。對準精度為 100nm @3σ(最差角落,GOG)。混合鍵合為了良率需要極高的潔淨度,因此作業區域可維持 ISO3 的環境。

導入在其他 Besi 平台累積的薄晶粒處理技術,並以線上 IR 檢測,在不卸下材料的情況下即時回饋貼裝精度。處理能力最高 2,000 CPH(乾循環),基板為 12 吋晶圓,晶粒尺寸 0.5mm 見方~33×28mm,晶粒厚度 25~800µm。支援由主機自動切換品種,也能與應用材料(Applied Materials)的設備組成叢集。

主要規格

接合方式D2W 混合鍵合
貼裝精度對準 100 nm @3σ(最差角落)
處理能力最高 2,000 顆晶粒/小時
主要用途小晶片・3D 整合的高密度連接(間距最小 1 µm)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

對準 100nm @3σ(最差角落)
ISO3 的潔淨作業環境
以線上 IR 檢測回饋精度
最高 2,000 CPH,晶粒 0.5mm~33×28mm

主要用途

  • D2W 混合鍵合(3D 整合・小晶片)
  • 高密度互連的先進封裝

製造商

Besi(總部:荷蘭)

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資料來源

  1. Besi 官方產品頁面:Besi Datacon 8800 CHAMEO ultra plus AC