Datacon 8800 CHAMEO ultra plus AC 是 Besi 用於晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合的晶粒貼裝設備,用於高密度互連、3D 整合、先進封裝與高階模組。
透過使用高解析度相機的 Van Gogh 對準原理等光學解決方案,實現最高的貼裝精度。對準精度為 100nm @3σ(最差角落,GOG)。混合鍵合為了良率需要極高的潔淨度,因此作業區域可維持 ISO3 的環境。
導入在其他 Besi 平台累積的薄晶粒處理技術,並以線上 IR 檢測,在不卸下材料的情況下即時回饋貼裝精度。處理能力最高 2,000 CPH(乾循環),基板為 12 吋晶圓,晶粒尺寸 0.5mm 見方~33×28mm,晶粒厚度 25~800µm。支援由主機自動切換品種,也能與應用材料(Applied Materials)的設備組成叢集。