熱壓接合(TCB:Thermo-Compression Bonding)是同時施加熱與壓力,使晶粒的電極(凸塊)與基板或下層晶粒的電極形成金屬間接合的先進封裝構裝技術。與傳統的回焊(整批加熱熔融)方式不同,其特點是將1顆或少數幾顆晶粒一邊高精度對位、一邊依序接合。
適合接合微細的銅柱凸塊與微凸塊(間距10~40μm),在HBM(高頻寬記憶體)的多層晶粒堆疊、小晶片構裝,以及2.5D/3D封裝的高精度、高密度連接中,採用日益擴大。有時要求接合精度的位置偏移量在1μm左右,可實現比回焊方式更高的構裝精度。
在設備方面,有將晶粒整體一次全面加熱的整體接合(gang bonding)方式,以及以雷射或脈衝加熱進行局部短時間加熱的方式;後者能抑制熱對下層造成的影響(翹曲),因此適合接合已薄化的堆疊晶粒。
主要設備廠商為ASM Pacific Technology(ASMPT)與Besi。隨著HBM4以後的高層數堆疊記憶體,以及先進邏輯小晶片構裝的普及,對TCB設備高速化與高精度化的需求正持續擴大。