Purion XE 系列是 Axcelis Technologies 的高能離子佈植機。採用 RF 線性加速器（LINAC）技術，整個系列涵蓋 40keV 至最高 15MeV 的佈植能量。
機型包括 12 段 LINAC 的 Purion XE（4.5MeV）、能量更高的 Purion EXE（5.25MeV）、附增能器的 14 段 Purion VXE（8MeV），以及具備雙 LINAC 與增能技術的 Purion XEmax（15MeV）。另有針對功率元件量產最佳化的 Purion XE Power Series+。
在 RF LINAC 架構的射束線中整合多段過濾以去除雜質，實現業界頂尖等級的污染控制。以 Vector 控制系統即時量測與補正水平・垂直角度，兼顧高射束電流與最高 500WPH 的產能。