Purion XE
RFリニアック（LINAC）加速方式の高エネルギーイオン注入装置。広いエネルギーレンジと金属汚染の抑制を両立する。
Purion XEとは
Purion XE シリーズは、Axcelis Technologies の高エネルギーイオン注入装置です。RF リニアアクセラレータ（LINAC）技術を使い、40keV から最大 15MeV までの注入エネルギーをシリーズ全体でカバーします。
機種は、12 段 LINAC の Purion XE（4.5MeV）、より高エネルギーの Purion EXE（5.25MeV）、ブースター付き 14 段の Purion VXE（8MeV）、デュアル LINAC とブースト技術を持つ Purion XEmax（15MeV）です。パワーデバイスの量産向けに最適化した Purion XE Power Series+ もあります。
RF LINAC ベースのビームラインに多段フィルタリングを組み込んで不純物を取り除き、業界トップクラスの汚染制御を実現しています。Vector 制御システムで水平・垂直の角度をその場で計測・補正し、高いビーム電流と最大 500WPH のスループットを両立します。
主な特長
- •RF LINAC 方式、シリーズで 40keV〜15MeV
- •XE（4.5MeV）／EXE（5.25MeV）／VXE（8MeV）／XEmax（15MeV）
- •多段フィルタリングによる汚染制御
- •最大 500WPH
主な仕様
| 区分 | 高エネルギーイオン注入装置 |
|---|---|
| 加速方式 | RFリニアック（LINAC） |
| 特徴 | 広いエネルギーレンジ・金属汚染制御 |
| 関連機種 | Purion XE+ SiC・Purion EXE+ SiC（SiCパワーデバイス向け）（派生機種） |
| 主要用途 | 深いウェル形成などの高エネルギー注入 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Axcelis TechnologiesPurion XE | 住友重機械イオンテクノロジーS-UHE／SS-UHE Ⅱ |
|---|---|---|
| 区分 | 高エネルギーイオン注入装置 | 高エネルギーイオン注入装置 |
| 加速方式 | RFリニアック（LINAC） | 多段RFリナック |
| 主要用途 | 深いウェル形成などの高エネルギー注入 | レトログレードウェルなどの深部注入 |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 特徴 | 広いエネルギーレンジ・金属汚染制御 | — |
|---|---|---|
| 関連機種 | Purion XE+ SiC・Purion EXE+ SiC（SiCパワーデバイス向け）（派生機種） | — |
| シリーズ構成 | — | S-UHE／SS-UHE Ⅱ／HE3 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •深いウェル形成などの高エネルギー注入
- •イメージセンサー・パワーデバイス
- •メモリ・先端ロジック
掲載カテゴリ
Purion XEは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
イオン注入装置の専業メーカー。Purionシリーズで低〜高エネルギーの注入をカバーし、先端ロジック・メモリ・SiCパワー半導体の製造を支える。