Purion H 是 Axcelis Technologies 的高電流離子佈植機系列，最新一代為 Purion H6。廠商稱其為具備業界頂尖製程控制的次世代高電流機。
在純度方面，以同時使用磁場與靜電的 5 段濾波器掃描式點狀射束結構，將微粒產生與汙染降至最低。在精度方面，以 Purion Vector 角度控制系統獨立控制佈植角與劑量，並在晶圓全面精密量測射束特性。
在生產力方面，以 Enhanced Uniformity Scan 將點狀射束的利用效率最大化，並搭配每小時 500 片的 Purion 佈植腔，廠商表示將成為高電流離子佈植生產力的標準。同一 Purion 平台上還有中電流的 Purion M 與高能量的 Purion XE。