IH 是愛發科（ULVAC）針對功率元件・SiC 元件的高能離子佈植機。可對應高溫與常溫佈植。
可瞬間切換高溫與常溫，並能自動連續進行高溫佈植。1 價離子可達 400keV、2 價可達 800keV、3 價可達 1,200keV。透過可瞬間切換高溫載台與冷卻載台的該公司專利雙載盤（dual platen），以及利用預熱室縮短加熱時間，獲得高產能。
可進行連續多段佈植（chain implant），減輕操作人員的負擔。採精巧設計，可廣泛對應從試產到量產。IH-860PSIC 對應 Φ150mm、IH-1200PSIC 對應 Φ200mm 的基板。