S-UHE／SS-UHE Ⅱ 是住友重機械離子科技（SMIT）的單片式超高能離子佈植機。採用多段 RF 線性加速器加速方式，S-UHE 的佈植能量為 85keV（DC）～6.8MeV，SS-UHE Ⅱ 則提高至最高 14.4MeV。
搭載對稱式離子束平行化光學系統，以高佈植角度精度獲得良好的面內均勻性與重現性。兼顧高品質與高生產力。
SS-UHE 是透過加快晶圓掃描提高產能、提升能量精度與射束角度精度、將金屬污染降至極低，並提高排氣性能的機型。主要用途為 CCD 與 CMOS 影像感測器的量產，以及嵌入式元件的三重井（triple well）形成。