Purion M 是 Axcelis Technologies 的中電流離子佈植機，與高電流的 Purion H、高能量的 Purion XE 共用同一個 Purion 平台。在中電流機種中擁有最寬的劑量範圍，可彈性因應不斷變化的佈植需求。
結合精密的點狀束（spot beam）束線技術與每小時 500 片的單晶圓式平台，在 2keV～1MeV 的寬廣能量範圍內，為低能量・中劑量的應用，特別是井區、通道與 HALO 佈植，提供高可靠度、高精度與高生產力。高能量能力大幅超越競爭機種，也適合重元素的佈植。
以磁場與靜電兩種方式進行過濾的混合式束線設計，在所有能量下抑制金屬汙染，適合影像感測器用途。可原位量測並控制 X・Y 方向的角度。廠商表示，單一磁鐵的束線設計使能源效率比競爭機種高 20%。