SOPHI-400的特點與規格

SOPHI-400 是愛發科（ULVAC）的高能離子佈植機。在功率元件與 IGBT 領域擁有最高市占率，最高可對應 1,200keV。

可直接傳送並處理極薄晶圓，也能直接傳送翹曲基板並進行高精度的平邊對位。1 價可進行 400kV 加速，以平行射束進行高精度佈植。

易於維護、持有成本低，選配可進行從 5kV 起的低能量佈植。用於功率元件等的薄型基板製程、IGBT 製程、VCSEL、SOI／LNOI 與 MEMS。