最後更新:2026年10月23日線鋸、切片設備

DAL7440的特點與規格

迪思科(DISCO)・線鋸、切片設備

從晶棒上方連續照射雷射、在指定深度形成剝離層並由此剝下晶圓的 KABRA 製程 8 吋機型。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

DAL7440 是迪思科採用 KABRA 製程的雷射切片機。對晶棒連續照射雷射,在指定深度形成分離層(KABRA 層),再由此剝離晶圓。KABRA 是 Key Amorphous-Black Repetitive Absorption 的縮寫。

對象是被期待在功率元件中取代矽的材料 SiC。與以線鋸切割的方法相比,可做出表面波紋較少的晶圓。不需對位,並具備定位平邊(OF)自動偵測、晶棒厚度量測,以及追蹤處理片數的晶圓標記功能。

適用 Φ8 吋晶棒,並表示未來也可因應更大口徑。晶棒最大厚度 40mm,設備尺寸為 750(W)×1,350(D)×1,800(H)mm。是由適用 6 吋的前一代機型 DAL7420 發展而來,截至2018年1月,迪思科已就此技術取得及申請 58 件專利。

主要規格

切割方式雷射切片(KABRA)
適用晶棒8 吋 SiC・厚度最大 40 mm
相關機型KABRA!zen(全自動化)
主要用途SiC 晶圓的高速生產・提高產出片數

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

KABRA 製程(以雷射形成分離層後剝離)
Φ8 吋晶棒,最大厚度 40mm
表面波紋少的晶圓
不需對位・OF 自動偵測・晶棒厚度量測

主要用途

  • 從 SiC 晶棒切出晶圓

製造商與在台據點

在台據點
  • 迪思科高科技(DISCO Hi-Tec Taiwan)(台北・新竹・台中・台南・高雄):2007 年成立,全台 5 處據點,員工約 400 人

所屬設備分類

相關用語

同分類的其他機型

迪思科(DISCO)的其他機型

資料來源

  1. 迪思科(DISCO)官方新聞稿:DISCO DAL7440