最後更新:2026年10月23日雷射切割設備

DDS2300的特點與規格

迪思科(DISCO)・雷射切割設備

以冷擴張高品質分割附 DAF 薄晶圓的晶粒分離機。也用於隱形切割後的分割。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

DDS2300 是迪思科的全自動晶粒分離機。可高品質地分割附 DAF(晶片黏著膜)的薄晶圓。

在全切切割中,DAF 毛邊與黏晶時的取晶不良是課題。在 DBG 製程中使用 DAF 時,也需要只切斷 DAF 的步驟。使用 DDS2300 可抑制雷射對 DAF 的切入量以減少加工碎屑,也能降低表面保護膜等耗材成本。

利用 DAF 在低溫下變脆的特性,以在低溫下擴張膠帶的冷擴張方式穩定分割 DAF。對以隱形切割在內部形成改質層的晶圓,也能穩定進行晶片分割。擴張後膠帶的鬆弛以熱收縮消除,可直接以膠帶框架狀態送往黏晶製程。

主要規格

方式冷擴張(低溫下擴張膠帶)
適用晶圓尺寸Φ300 mm
主要用途SDBG・SDTT 後的分割・DAF 切斷

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以冷擴張分割 DAF
隱形切割後的分割
以熱收縮消除鬆弛

主要用途

  • 附 DAF 薄晶圓的分割
  • SDBG 後的晶片分割

製造商與在台據點

在台據點
  • 迪思科高科技(DISCO Hi-Tec Taiwan)(台北・新竹・台中・台南・高雄):2007 年成立,全台 5 處據點,員工約 400 人

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資料來源

  1. 迪思科(DISCO)官方產品頁面:DDS2300