DFD6560 是迪思科追求省空間配置、適用 300mm 的切割機。
搭載自行開發的短主軸,並最佳化門型結構的配置,主機佔地面積較 DFD6362 減少 16%。所有保養都可從設備正面進行,包含保養區在內的配置面積減少 20%,舊機型 4 台的空間可放 5 台。
以薄型輪蓋縮短刀片間距,增加可同時切割的線數,階梯切割的產能最多提升約 10%。可透過觸控面板直接觸碰顯微鏡畫面操作,並以圖表掌握設備運轉狀況。也備有二流體噴嘴等微粒對策選配。
追求省空間的 300mm 切割機。在 DFD6362 4 台的空間內可設置 5 台。
DFD6560 是迪思科追求省空間配置、適用 300mm 的切割機。
搭載自行開發的短主軸,並最佳化門型結構的配置,主機佔地面積較 DFD6362 減少 16%。所有保養都可從設備正面進行,包含保養區在內的配置面積減少 20%,舊機型 4 台的空間可放 5 台。
以薄型輪蓋縮短刀片間距,增加可同時切割的線數,階梯切割的產能最多提升約 10%。可透過觸控面板直接觸碰顯微鏡畫面操作,並以圖表掌握設備運轉狀況。也備有二流體噴嘴等微粒對策選配。
| 方式 | 全自動・對向式雙主軸(Facing Dual) |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | Φ300 mm |
| 效果 | 佔地面積減少 16%・產能最多提升約 10%(相較 DFD6362) |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。