切割・研磨設備是什麼

切割與研削位於後段製程的入口,負責將前段製程加工完成的晶圓分割成單顆晶片,並調整厚度與外觀品質。其目的在於管理晶片尺寸精度與端面品質(缺角、裂痕、崩邊),以及確保足以承受後續構裝/封膠製程的機械強度。由於材料(晶圓材質、黏晶材料、保護膠膜)與加工條件會直接影響缺陷的產生,因此須搭配檢測設備的缺陷偵測與分析、量測設備的尺寸/形狀管理一併進行最佳化。

細分類 4 類

主要細分類

  • •晶背研磨機
  • •晶圓切割機(Dicing Saw)
  • •雷射切割設備
  • •研磨拋光設備(Polisher)

重點整理

後段製程的入口:將晶圓分割成晶片並調整品質
抑制缺角/裂痕等機械性缺陷,守住良率
加工條件 × 材料會大幅影響結果(必須最佳化)
搭配檢測與量測進行缺陷管理/條件管理

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