IB-19530CP 是日本電子(JEOL)的截面拋光機(Cross Section Polisher,離子束加工設備)。以氬離子束去除機械研磨造成的試片刮痕與應變,製作適合截面觀察與晶體結構分析的高品質試片。
加速電壓為 2~8kV,加速電壓 8kV 時研磨速度為 500µm/h 以上(以 Si 換算,邊緣距離 100µm)。具備自動切換高速加工與精修加工的自動加工程式,以及抑制試片溫度上升的間歇加工模式。
透過多用途載台,支援標準截面研磨、最大寬度 8mm 的大範圍截面研磨、平面研磨、旋轉截面研磨與離子束濺鍍鍍膜。用於半導體元件與電子零組件的故障分析,以及材料評估的前處理。