JBX-3200MVS 是日本電子（JEOL）的可變成形束（VSB）型電子束寫入機。用於光罩・倍縮光罩的製造，在日本國內外的自有（captive）與商用（merchant）光罩廠皆有導入實績。
加速電壓為 50kV，以步進重複載台方式為基礎，具備劑量調變與重疊寫入功能。藉由可變成形束，可對應從舊型光罩到最先進倍縮光罩的各種圖案化補正。
對應 32nm～28nm 節點的光罩寫入，拼接精度為 ±3.5nm 以下，疊對精度為 ±5nm 以下。設計目標為高速・高精度・高可靠度。
JBX-3200MVS的特點與規格
日本電子（JEOL）・光罩寫入機（電子束寫入）
具備可變成形 50kV 電子束與步進重複載台的光罩・倍縮光罩用電子束寫入機。
產品概要
主要規格
| 寫入方式 | 可變成形束（50 kV） |
|---|---|
| 世代 | 32 ～ 28nm 節點 |
| 特點 | 寫入面積 150 × 150 mm・劑量調變・重疊寫入功能 |
| 主要用途 | 光罩・倍縮光罩（含舊型產品）的寫入 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
可變成形束，加速電壓 50kV
劑量調變・重疊寫入功能
拼接精度 ±3.5nm 以下・疊對精度 ±5nm 以下
主要用途
- 32～28nm 節點的光罩・倍縮光罩寫入
- 舊型光罩的製造
製造商
日本電子（JEOL）（總部：日本）