ArBlade 5000 是日立高新技術(Hitachi High-Tech)用於電子顯微鏡試片前處理的離子研磨設備最高階機種。以氬離子束削切試片的截面或表面,即使是機械研磨容易產生刮痕與應變的試片,也能做出適合 SEM 觀察的平整截面。日立離子研磨設備的出貨台數已超過 1,100 台。
搭載研磨速率約為該公司產品 2 倍的高速率 Ar 離子槍(PLUS II 離子槍),截面研磨速率為 1mm/h 以上。對需要長時間處理的試片,大幅縮短了截面研磨的處理時間。
為因應電子領域的需求,開發出擴大截面研磨範圍的滑動研磨試片座,可對應 8mm 的加工寬度。即使是陶瓷、金屬等硬質材料,也能以高產能製作大範圍的截面試片。為同時支援截面研磨與平面研磨的混合式設備,並透過液晶觸控面板的自動啟動功能等提升操作性。