IC 開封・斷面加工設備是什麼

IC 開封・斷面加工設備是作為故障分析前處理,從樹脂封裝的封裝體中露出晶片表面,並製作欲觀察部位斷面的一系列設備。除了使用發煙硝酸等藥液的化學開封設備、選擇性去除樹脂的雷射開封設備之外,斷面加工則使用離子研磨設備或聚焦離子束(FIB)。能否在不損傷導線與焊線的情況下到達目標部位,決定了分析的成敗,因此加工速率與選擇性的控制決定了設備性能。

重點整理

以化學開封・雷射開封去除封膠,露出晶片
斷面加工以離子研磨或 FIB 切出觀察部位
關鍵在於不傷及導線・焊線的選擇性與加工速率控制
是故障分析的第一道關卡,左右後段的觀察精度

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