JAMP-9510F

半球型アナライザーとショットキー電界放出電子銃を持つオージェマイクロプローブ。ナノ～マイクロ領域の化学結合状態を分析する。

JAMP-9510Fとは

JAMP-9510F は、日本電子（JEOL）の電界放出形オージェマイクロプローブです。電子線を当てて試料表面から出るオージェ電子を分析し、表面の微小領域の元素を調べます。

ショットキー電界放出形の電子銃を使い、EPMA 並みの安定した大電流を出せます。二次電子像の分解能は 3nm（25kV、10pA）、加速電圧は 0.5〜30kV、プローブ電流は 10⁻¹¹〜2×10⁻⁷A です。静電半球形アナライザー（HSA）で 0.05〜0.6% の高いエネルギー分解能を持ちます。高精度のユーセントリック試料ステージとフローティング型イオン銃により、それまで難しかった絶縁物の分析にも対応します。

ピクセルごとにスペクトル全体を保存するスペクトルイメージングにより、測定後に元素を抽出して化学状態マッピングができ、元素の取りこぼしを防ぎます。半導体デバイスの断面分析、リチウムイオン電池材料（とくにリチウムの検出）、炭素同素体の判別や絶縁物・半導体のバンドギャップ評価を行う REELS 分析に使われます。

主な特長

•二次電子像分解能 3nm、ショットキー FE 電子銃
•静電半球形アナライザー（エネルギー分解能 0.05〜0.6%）
•フローティング型イオン銃で絶縁物も分析
•スペクトルイメージング

主な仕様

分析手法	AES（オージェ電子分光）
特徴	分析分解能 8 nm・像分解能 3 nm・最大 200 nA
主要用途	微小領域の組成・化学状態分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	アルバック・ファイPHI GENESIS	日本電子（JEOL）JAMP-9510F	島津製作所KRATOS ULTRA2（英国名 AXIS Supra+）	リガク（Rigaku）TXRF 3760
分析手法	XPS（走査型マイクロ X 線）	AES（オージェ電子分光）	XPS（イメージング XPS）	TXRF（全反射蛍光 X 線）
特徴	ロボットによる全自動分析・絶縁物自動中和・クラスターイオン深さ方向分析	分析分解能 8 nm・像分解能 3 nm・最大 200 nA	イメージング空間分解能 1 µm・DLD 2 次元検出器	Na ～ U を測定・液体窒素不要の検出器・ゼロエッジ除外（オプション）
主要用途	金属・半導体・セラミックス・有機物の表面化学状態分析	微小領域の組成・化学状態分析	極表面の元素・化学結合状態・深さ方向分析	ウェーハ表面の金属汚染分析