電子槍（Electron Gun）是使電子放出，再加以加速、聚焦，取出成細束電子流（電子束）的裝置。過去以映像管電視中描繪影像的零件而為人所知，在半導體領域，則作為掃描式電子顯微鏡（SEM）、量測尺寸的CD-SEM、穿透式電子顯微鏡（TEM）、以電子束在光罩或晶圓上描繪圖案的電子束微影設備、電子束缺陷檢測設備，以及使金屬蒸發成膜的電子束蒸鍍設備等的核心零組件。
電子槍依取出電子的方式，主要分為3種。（1）熱游離發射型：將鎢絲或六硼化鑭（LaB₆）晶體加熱至高溫以放出電子，價格低廉、易於使用，且可得到大電流。（2）蕭特基發射型：一邊加熱附有氧化鋯的鎢針，一邊施加強電場，可得到明亮而穩定的電子束，是CD-SEM與電子束微影設備的主流。（3）冷陰極場發射型：不加熱，而在尖銳針尖施加強電場引出電子，電子束的能量分散小，可得到最高的解析度。
電子槍的性能以電子束的亮度、電子能量的一致程度、發射的穩定性與壽命來評估。越能從明亮而小的點放出電子，即使將電子束聚得很細也能得到足夠電流，兼顧高解析度與快速量測、描繪。場發射型為了維持針尖潔淨，需要極高的真空，電子槍部分配備專用的離子幫浦等。在電子束蒸鍍中，是以數kW的電子束照射金屬使其熔化蒸發，因此使用電流更大的熱游離型電子槍。