最後更新:2026年10月23日形貌觀察設備(SEM/TEM)

JSM-IT810的特點與規格

日本電子(JEOL)・形貌觀察設備(SEM/TEM)

2024 年上市的蕭特基場發射掃描式電子顯微鏡,具備將設備調整到觀察・EDS 分析自動化的功能。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

JSM-IT810 是日本電子(JEOL)的蕭特基場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)。將通用性與高空間解析度結合自動化,以無需撰寫程式的自動化提升觀察與分析的工作流程效率。

具備只需設定條件並選擇量測區域,即可進行自動觀察與 EDS 分析的 Neo Action 功能。另提供將倍率校正、電子束對準、能量校正自動化的 SEM 自動調整套件作為選配。使用者介面即使對 SEM 經驗尚淺的人也容易上手。

以多分割半導體型背向散射電子(BSE)偵測器可進行即時 3D 表面重建,並具備有助於 EBSD 量測的梯形補正功能。整合 EDS(能量色散 X 光光譜),可從觀察畫面預約點・面・面掃描・線分析,消除 SEM 觀察與元素分析之間的界線。用於半導體檢測與材料分析。

主要規格

觀察方式蕭特基 FE-SEM
特點倍率最高 200 萬倍・加速電壓 0.01 ~ 30 kV・可同時搭載 EDS/WDS/EBSD 等
相關機型JSM-IT800(前一代機型・已停售)
主要用途奈米尺度的觀察・分析

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以 Neo Action 進行自動觀察・EDS 分析
以多分割 BSE 偵測器進行即時 3D 表面重建
整合 EDS(點・面・面掃描・線分析)
SEM 自動調整套件(選配)

主要用途

  • 半導體元件的形貌觀察・元素分析
  • 材料分析

製造商

日本電子(JEOL)(總部:日本)

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資料來源

  1. 日本電子(JEOL)官方產品頁面:JEOL JSM-IT810