JSM-IT810 是日本電子(JEOL)的蕭特基場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)。將通用性與高空間解析度結合自動化,以無需撰寫程式的自動化提升觀察與分析的工作流程效率。
具備只需設定條件並選擇量測區域,即可進行自動觀察與 EDS 分析的 Neo Action 功能。另提供將倍率校正、電子束對準、能量校正自動化的 SEM 自動調整套件作為選配。使用者介面即使對 SEM 經驗尚淺的人也容易上手。
以多分割半導體型背向散射電子(BSE)偵測器可進行即時 3D 表面重建,並具備有助於 EBSD 量測的梯形補正功能。整合 EDS(能量色散 X 光光譜),可從觀察畫面預約點・面・面掃描・線分析,消除 SEM 觀察與元素分析之間的界線。用於半導體檢測與材料分析。