SU7000 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的超高解析度蕭特基掃描式電子顯微鏡（FE-SEM）。現今的 FE-SEM 不僅要求高性能，還需要廣視野觀察、原位分析、低真空、低加速電壓下的高解析度觀察、多訊號同時擷取等多項功能，SU7000 即是為滿足這些需求而設計。
以全新設計的電子光學系統與偵測系統，有效率地同時擷取多種二次電子・背向散射電子訊號，最多可同時處理・顯示・儲存 6 種訊號。可對應從廣視野到次奈米結構的各種觀察需求。
樣品室與真空系統針對大型樣品、多軸樣品操作、低真空、冷凍、加熱・冷卻的原位觀察進行最佳化。電子槍為可輸出最大 200nA 電子束電流的蕭特基發射源，也對應微小區域元素分析等微區分析。用於半導體元件與材料的形貌觀察。