JSM-IT810

2024年に発売されたショットキー電界放出形走査電子顕微鏡。装置調整から観察・EDS 分析までを自動化する機能を持つ。

JSM-IT810とは

JSM-IT810 は、日本電子（JEOL）のショットキー電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）です。汎用性と高い空間分解能に自動化を組み合わせ、コーディング不要の自動化で観察と分析のワークフローを効率化します。

条件を設定して測定領域を選ぶだけで、自動観察と EDS 分析を行う Neo Action 機能を持ちます。倍率校正、ビームアライメント、エネルギー校正を自動化する SEM 自動調整パッケージもオプションで用意しています。SEM の経験が浅い人でも使いやすいユーザーインターフェースです。

多分割の半導体型反射電子（BSE）検出器でリアルタイムの 3D 表面再構築ができ、EBSD 測定に役立つ台形補正機能も備えます。EDS（エネルギー分散型 X 線分光）を統合し、観察画面から点・面・マッピング・線分析を予約できるため、SEM 観察と元素分析の境目をなくします。半導体の検査や材料分析に使われます。

主な特長

•Neo Action による自動観察・EDS 分析
•多分割 BSE 検出器によるリアルタイム 3D 表面再構築
•EDS 統合（点・面・マッピング・線分析）
•SEM 自動調整パッケージ（オプション）

主な仕様

観察方式	ショットキー FE-SEM
特徴	倍率最大 200 万倍・加速電圧 0.01 ～ 30 kV・EDS/WDS/EBSD 等を同時搭載
関連機種	JSM-IT800（前機種・販売終了）
主要用途	ナノスケールの観察・分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	日立ハイテクSU7000	日本電子（JEOL）JSM-IT810	レーザーテックOPTELICS® HYBRID+
観察方式	ショットキー FE-SEM	ショットキー FE-SEM	白色／レーザーコンフォーカル顕微鏡
特徴	6 種類の信号を同時取得	倍率最大 200 万倍・加速電圧 0.01 ～ 30 kV・EDS/WDS/EBSD 等を同時搭載	6 波長選択・微分干渉・白色干渉・反射分光膜厚測定
主要用途	微細構造の観察・元素分析	ナノスケールの観察・分析	半導体材料・デバイス・MEMS の観察と形状測定
関連機種	Regulus シリーズ（冷陰極 FE-SEM）／SU9000II	JSM-IT800（前機種・販売終了）	—