形貌觀察設備(SEM/TEM)是什麼
形貌觀察設備是在故障分析或不良分析中,以高倍率將元件斷面・表面結構可視化的一系列設備。掃描式電子顯微鏡(SEM)以數 nm 的解析度觀察表面形貌,穿透式電子顯微鏡(TEM/STEM)則以原子等級觀察薄膜的堆疊結構與晶格。用於實測閘極絕緣膜的膜厚、找出空洞或裂紋、確認界面反應層等,並結合 FIB 製作薄片,分析任意位置。若併用 EDX,可同時取得形貌與元素分布。
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